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          共有281條記錄
          氣體增壓泵
          產地:濟南 更新時間:2019-12-04 15:08
          電議
          濟南綠動科技發展有限公司
          • 公司名稱:濟南綠動科技發展有限公司
          • 工商注冊號:370105200011736
          • 法定代表人:耿良華
          • 成立日期:2005-02-2315年
          • 注冊資本:50萬人民幣
          • 企業類型:有限責任公司(自然人投資或控股)
          • 登記狀態:在業
          • 登記機關:濟南市天橋區市場監督管理局
          • 注冊住所:山東省濟南市天橋區桑梓店鎮梓東大道1號鑫茂齊魯科技城一期18號樓103號
          • 經營范圍:增壓泵的開發、生產、銷售;機械設備(不含特種設備)的批發、零售、安裝、維修;電氣開關控制設備、計算機及軟件、金屬材料、電子產品、玩具、非??赝ㄓ嵲O備、文具用品、教學儀器的批發、零售。(依法須經批準的項目,經相關部門批準后方可開展經營活動)
          德國貝克真空泵U5.100
          產地:天津 更新時間:2017-01-03 15:55
          萊寶SV300真空泵排氣過濾器
          產地:東莞 更新時間:2016-06-08 14:29
          電議
          東莞市鑰大真空設備有限公司
          • 公司名稱:東莞市鑰大真空設備有限公司
          • 工商注冊號:441900001713904
          • 法定代表人:劉海萍
          • 成立日期:2013-09-107年
          • 注冊資本:100萬人民幣
          • 企業類型:有限責任公司(自然人獨資)
          • 登記狀態:存續
          • 登記機關:東莞市市場監督管理局
          • 注冊住所:東莞市寮步鎮泉塘社區石大路63號4樓
          • 經營范圍:產銷、維修:真空設備及其周邊配件、通用機械、五金配件。(依法須經批準的項目,經相關部門批準后方可開展經營活動)〓
          蘇州2XZ型旋片式真空泵
          產地:上海 更新時間:2016-03-15 15:26
          美國KINNEY凱尼KT型單級滑閥真空泵
          產地:上海 更新時間:2015-11-13 13:52
          電議
          上海菲帝坷斯貿易有限公司
          • 公司名稱:上海菲帝坷斯貿易有限公司
          • 工商注冊號:310117002475330
          • 法定代表人:張雁海
          • 成立日期:2004-03-2716年
          • 注冊資本:100萬人民幣
          • 企業類型:有限責任公司(自然人投資或控股)
          • 登記狀態:存續
          • 登記機關:松江區市場監管局
          • 注冊住所:上海市松江區小昆山鎮崇南路6號1號房-163
          • 經營范圍:汽配、五金交電、陶瓷制品、針織品、普通機械、化工產品(除危險化學品、監控化學品、煙花爆竹、民用爆炸物品、易制毒化學品)、電子產品、通信設備、計算機軟硬件、工藝美術品、文娛用品、服裝鞋帽、建筑材料、潤滑油、工業膠粘劑、清洗劑、日用百貨、橡膠制品、塑料制品的批發零售。從事貨物及技術進出口業務?!疽婪毥浥鷾实捻椖?,經相關部門批準后方可開展經營活動】
          2BE型水環式真空泵
          產地:上海 更新時間:2015-07-27 12:02
          2X型旋片式真空泵
          產地:上海 更新時間:2015-04-18 10:21
          真空泵
          產地:上海 更新時間:2014-11-25 12:53
          自動注油器
          產地:石家莊 更新時間:2014-10-29 16:44
          電議
          石家莊金泰福特機電有限公司
          • 公司名稱:石家莊金泰福特機電有限公司
          • 工商注冊號:130100000244607
          • 法定代表人:柯磊明
          • 成立日期:2009-04-2211年
          • 注冊資本:50萬人民幣
          • 企業類型:有限責任公司(自然人投資或控股)
          • 登記狀態:存續
          • 登記機關:橋西區市場監督管理局
          • 注冊住所:石家莊橋西區勝利南大街華原北路1號
          • 經營范圍:機電機械設備(特種設備除外)及配件、五金工具組裝、加工、銷售;電子產品、儀器儀表的銷售;自營或代理各類商品和技術的進出口業務。(法律、法規及國務院決定禁止或者限制的事項,不得經營;需其它部門審批的事項,待批準后,方可經營)
          醫用純無油空壓機機頭WSC32000/A
          產地:上海 更新時間:2014-09-15 16:28
          ¥廠家直銷
          上?;垴Y機電有限公司
          • 公司名稱:上?;垴Y機電有限公司
          • 工商注冊號:310113000476921
          • 法定代表人:田勤
          • 成立日期:2003-04-0717年
          • 注冊資本:100萬人民幣
          • 企業類型:有限責任公司(自然人投資或控股)
          • 登記狀態:存續
          • 登記機關:浦東新區市場監管局
          • 注冊住所:浦東新區航頭鎮航都路25號13幢廠房三樓東區
          • 經營范圍:醫療器械、壓縮機、真空泵及零配件生產、銷售;五金交電、電動元件、機電產品、儀器儀表、電子產品、電腦硬軟件、日用百貨、針織品、服裝、鐘表禮品、文化用品、辦公用品、建材、汽車配件及用品的銷售;從事貨物及技術的進出口業務?!疽婪毥浥鷾实捻椖?,經相關部門批準后方可開展經營活動】
          羅茨-滑閥真空泵機組系列
          產地:上海 更新時間:2014-08-04 11:03
          供應普旭真空泵100號油
          產地:蘇州 更新時間:2014-04-08 09:11
          循環水式真空泵SHZ-III
          產地:南京 更新時間:2013-11-19 10:17
          電議
          南京科爾儀器設備有限公司
          • 公司名稱:南京科爾儀器設備有限公司
          • 工商注冊號:320106000051629
          • 法定代表人:李紅賓
          • 成立日期:2005-05-2315年
          • 注冊資本:200萬人民幣
          • 企業類型:有限責任公司
          • 登記狀態:在業
          • 登記機關:南京市鼓樓區市場監督管理局
          • 注冊住所:南京市鼓樓區馬臺街70號1號樓110室
          • 經營范圍:儀器設備、玻璃儀器、電子產品、通信產品、計算機軟硬件、建筑材料、化學試劑、化工原料、電工電料、水暖、閥門、機械設備銷售。(依法須經批準的項目,經相關部門批準后方可開展經營活動)
          活塞式空壓機
          產地:北京 更新時間:2013-10-23 09:51
          電議
          北京復盛機械有限公司
          • 公司名稱:北京復盛機械有限公司
          • 工商注冊號:110000410070561
          • 法定代表人:劉瑋
          • 成立日期:1993-12-2327年
          • 注冊資本:4565萬人民幣
          • 企業類型:有限責任公司(外商投資企業與內資合資)
          • 登記狀態:在業
          • 登記機關:北京市工商行政管理局昌平分局
          • 注冊住所:北京市昌平區回龍觀國際信息產業基地立業路15號1-5幢
          • 經營范圍:生產壓縮機械、制冷機械及其配套件和相關輔件、鑿巖機械、柴油機驅動電源系統、噴砂機、噴漿機;提供自產產品的維修和售后服務;銷售及租賃自產產品;從事上述同類產品及其配套件、專用油品的批發、傭金代理(拍賣除外)、貨物進出口(不涉及國營貿易管理商品;涉及配額許可證管理商品的按國家有關規定辦理申請手續)。(企業依法自主選擇經營項目,開展經營活動;依法須經批準的項目,經相關部門批準后依批準的內容開展經營活動;不得從事本市產業政策禁止和限制類目錄的經營活動。)
          供應瑞昶高壓鼓風機HB-329
          產地:深圳 更新時間:2013-09-28 16:25
          高真空擋板閥
          產地:溫州 更新時間:2013-08-29 16:36
          ¥580
          溫州奧斯科閥門科技有限公司
          • 公司名稱:溫州奧斯科閥門科技有限公司
          • 工商注冊號:330324000066925
          • 法定代表人:許孫花
          • 成立日期:2011-04-189年
          • 注冊資本:500萬人民幣
          • 企業類型:有限責任公司(自然人投資或控股)
          • 登記狀態:存續
          • 登記機關:永嘉縣市場監督管理局
          • 注冊住所:永嘉縣甌北鎮碼道北路62號東3、4間
          • 經營范圍:閥門、液動泵、傳動裝置研發、生產、銷售。
          QJ5-38潛水泵250QJ
          產地:上海 更新時間:2013-06-25 16:05
          ZJ型羅茨泵系列
          產地:上海 更新時間:2013-06-06 12:17
          電議
          上海巖湖泵業有限公司
          • 公司名稱:上海巖湖泵業有限公司
          • 工商注冊號:310118002839795
          • 法定代表人:吳愛平
          • 成立日期:2013-04-267年
          • 注冊資本:50萬人民幣
          • 企業類型:有限責任公司(自然人獨資)
          • 登記狀態:吊銷,未注銷
          • 登記機關:青浦區市場監督管理局
          • 注冊住所:青浦區沈磚路建新221號2幢2層B區277室
          • 經營范圍:銷售泵、閥門、機電設備、電氣設備、電動工具、環保設備、水處理設備?!疽婪毥浥鷾实捻椖?,經相關部門批準后方可開展經營活動】
          JZJ2B系列羅茨水環機組
          產地:淄博 更新時間:2013-05-10 15:26
          電議
          淄博萊寶真空泵業有限公司
          • 公司名稱:淄博萊寶真空泵業有限公司
          • 工商注冊號:370303228826062
          • 法定代表人:潘海霞
          • 成立日期:2005-03-0415年
          • 注冊資本:800萬人民幣
          • 企業類型:有限責任公司(自然人投資或控股)
          • 登記狀態:在業
          • 登記機關:淄博市工商行政管理局高新區分局
          • 注冊住所:山東省淄博市高新區萬杰路121號302室
          • 經營范圍:真空泵、真空設備、水泵、潛水泵、化工設備、閥門、壓縮機、電機、水處理設備、礦用設備的生產、銷售。(依法須經批準的項目,經相關部門批準后方可開展經營活動)**
          3G三螺桿泵
          產地:滄州 更新時間:2013-05-03 08:09
          進口泵法國Pollard防爆真空泵
          產地:深圳 更新時間:2013-04-23 17:44
          電議
          深圳市誠拓貿易發展有限公司
          • 公司名稱:深圳市誠拓貿易發展有限公司
          • 工商注冊號:440301105235204
          • 法定代表人:金小潔
          • 成立日期:2011-03-079年
          • 注冊資本:50萬人民幣
          • 企業類型:有限責任公司
          • 登記狀態:存續
          • 登記機關:深圳市市場監督管理局
          • 注冊住所:深圳市南山區西麗龍珠大道郁金香家園4棟B座2-8A
          • 經營范圍:國內貿易,進出口業務(法律、行政法規禁止的項目除外,法律、行政法規限制的項目須取得許可后方可經營);企業股權投資。
          供應不銹鋼磁力泵
          產地:上海 更新時間:2013-04-16 10:31
          ¥2500元
          上海西羅亞泵業制造有限公司
          • 公司名稱:上海西羅亞泵業制造有限公司
          • 工商注冊號:310114001695538
          • 法定代表人:蘇孫芳
          • 成立日期:2006-02-2714年
          • 注冊資本:300萬人民幣
          • 企業類型:有限責任公司(自然人投資或控股)
          • 登記狀態:存續
          • 登記機關:嘉定區市場監管局
          • 注冊住所:上海市嘉定區安亭鎮聯群村曹安路4397號
          • 經營范圍:水泵、電機設備、閥門、給水設備、機械配件、控制柜、水泵電器配件的生產、加工、銷售?!疽婪毥浥鷾实捻椖?,經相關部門批準后方可開展經營活動】
          供應高真空送料齒輪泵
          產地:無錫 更新時間:2013-03-12 20:28
          DLSB-FZ低溫循環真空泵
          產地:鄭州 更新時間:2013-02-27 10:23
          SZ系列水環式真空泵
          產地:溫州 更新時間:2013-02-25 10:01
          電議
          永嘉縣弘凌泵閥有限公司
          • 公司名稱:永嘉縣弘凌泵閥有限公司
          • 工商注冊號:330324000022834
          • 法定代表人:徐孫錕
          • 成立日期:2008-09-2412年
          • 注冊資本:518萬人民幣
          • 企業類型:有限責任公司(自然人投資或控股)
          • 登記狀態:存續
          • 登記機關:永嘉縣市場監督管理局
          • 注冊住所:永嘉縣甌北鎮浦西村
          • 經營范圍:閥門、泵制造、銷售。
          JZJX系列旋片真空機組 真空泵
          產地:長沙 更新時間:2013-02-20 09:24
          ¥100
          長沙天耀真空設備有限公司
          • 公司名稱:長沙天耀真空設備有限公司
          • 工商注冊號:430103000117734
          • 法定代表人:王永征
          • 成立日期:2013-01-108年
          • 注冊資本:20萬人民幣
          • 企業類型:有限責任公司(自然人獨資)
          • 登記狀態:存續
          • 登記機關:長沙市望城區食品藥品工商質量監督管理局
          • 注冊住所:長沙市望城區月亮島街道潤和星城56棟2009室
          • 經營范圍:真空設備、真空泵的銷售、研發、設計及售后服務。(不含前置審批和許可項目,涉及行政許可的憑許可證經營)
          電磁泵,電磁水泵,隔膜泵,無刷直流水泵
          產地:寧波 更新時間:2013-01-24 20:10
          低流量的電磁泵
          產地:東莞 更新時間:2013-01-02 20:10
          XD型單級多旋片真空泵
          產地:上海 更新時間:2012-12-21 10:15
          電議
          上海真空泵廠有限公司
          • 公司名稱:上海真空泵廠有限公司
          • 工商注冊號:310118001860854
          • 法定代表人:楊秋虹
          • 成立日期:1998-09-2922年
          • 注冊資本:1035.9萬人民幣
          • 企業類型:有限責任公司(自然人獨資)
          • 登記狀態:存續
          • 登記機關:青浦區市場監督管理局
          • 注冊住所:青浦區白鶴鎮外青松公路3516號
          • 經營范圍:生產加工各類真空設備、真空機械、電動機,從事貨物及技術的進出口業務?!疽婪毥浥鷾实捻椖?,經相關部門批準后方可開展經營活動】
          HSJ660-46
          產地:黃山 更新時間:2012-11-23 13:03
          ¥14360
          黃山市誠譽工業泵制造有限公司
          • 公司名稱:黃山市誠譽工業泵制造有限公司
          • 工商注冊號:341000000027347
          • 法定代表人:洪灶成
          • 成立日期:2010-01-2111年
          • 注冊資本:100萬人民幣
          • 企業類型:有限責任公司(自然人投資或控股)
          • 登記狀態:存續
          • 登記機關:黃山市屯溪區市場監督管理局
          • 注冊住所:安徽省黃山市屯溪區九龍工業園昱山路6號
          • 經營范圍:螺桿泵產品、液壓配套設備生產、銷售。
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          • 阿朗2.8億美元出售真空泵業務 普發真空接手 日前消息阿爾卡特朗訊(下稱“阿朗”)宣布,計劃以2億歐元(C114注:約合2.8億美元)將其真空泵解決方案和儀器業務出售給德國普發真空技術股份公司(PfeifferVacuumTechnologyAG,下稱“普發真空”)。 阿朗的真空技術業務包括真空泵、檢漏儀、真空計、等離子傳感器、閥門、法蘭和配件。這筆交易涉及該業務在安納西(Annecy)的總部和13家主要的專注于阿爾卡特(ADIXEN)產品銷售和服務的子公司,預計將于12月31日完成。 普發真空首席執行官曼弗雷德·本德爾(ManfredBender)評價這一收購稱:“我們很高興有機會成為真空解決方案領域的全球領導者。阿爾卡特是真空產品和泄漏檢測儀器的領先供應商。阿爾卡特產品系列能夠與我們完美結合。除此之外,我們得以擴大國際銷售和營銷網絡,特別是在進入亞洲市場方面取得進步?!? 作為戰略轉型的一部分,阿朗正在執行專注于經營的計劃,它將注意力集中在長期戰略核心業務,而在其他方面則與合作伙伴合作,并剝離將被其他可以充分利用其投資組合和人才成為真空領域領導者的公司最好定位以進一步發展的業務。 此舉將使阿朗戰略性地聚焦于其在IP、光通信、3G、LTE服務以及業務使能(ApplicationEnablement)等下一代技術領域的投資,同時使客戶的真空設備需求繼續得到滿足。
          • 羅茨真空泵的特點 羅茨真空泵是一種旋轉式容積真空泵。其結構形式是由羅茨鼓風機演變而來的。它于1944年首先出現于德國,是為適應在10~1000Pa壓力范圍內具有大抽速的真空熔煉系統而作為機械增壓泵使用。 根據羅茨真空泵工作壓力范圍的不同,分為直排大氣的低真空羅茨泵;中真空羅茨泵(機械增壓泵)和高真空多級羅茨泵。國內用量最多的為中真空羅茨泵。羅茨真空泵與其它油封式真空泵相比有以下特點: 1、在較寬的壓力范圍內有較大的抽速; 2、轉子具有良好的幾何對稱性,故振動小,運轉平穩。轉子間及轉子和殼體間均有間隙,不用潤滑,摩擦損失小,可大大降低驅動功率,從而可實現較高轉速; 3、泵腔內無需用油密封和潤滑,可減少油蒸氣對真空系統的污染; 4、泵腔內無壓縮,無排氣閥。結構簡單、緊湊,對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感; 5、壓縮比較低,對氫氣抽氣效果差; 6、轉子表面為形狀較為復雜的曲線柱面,加工和檢查比較困難。羅茨真空泵近幾年在國內外得到較快的發展。在冶煉、石油化工、電工、電子等行業得到了廣泛的應用。
          • 真空泵選型方法 選用真空泵時,需要注意下列事項: 1、真空泵的工作壓強應該滿足真空 設備 的極限真空及工作壓強要求。如:真空鍍膜要求110-5mmHg的真空度,選用的真空泵的真空度至少要510-6mmHg。通常 選擇 泵的真空度要高于真空設備真空度半個到一個數量級。 2、正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強范圍,如:擴散泵為10-3~10-7mmHg,在這樣寬壓強范圍內,泵的抽速隨壓強而變化,其穩定的工作壓強范圍為510-4~510-6mmHg。因而,泵的工作點應該選在這個范圍之內,而不能讓它在10-8mmHg下長期工作。又如鈦升華泵可以在10-2mmHg下工作,但其工作壓強應小于110-5mmHg為好。 3、真空泵在其工作壓強下,應能排走真空設備 工藝 過程中產生的全部氣體量。 4、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對稱陰極濺射離子泵)對氬有一定的抽速,兩者組合起來,便會使真空 裝置 得到較好的真空度。另外,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預真空;有的真空泵出口壓強低于大氣壓,需要前級泵,故都需要把泵組合起來使用。 5、真空設備對油污染的要求。若設備嚴格要求無油時,應該選各種無油泵,如:水環泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達到清潔真空要求。 6、了解被抽氣體成分,氣體中含不含可凝蒸氣,有無顆?;覊m,有無腐蝕性等。選擇真空泵時,需要知道氣體成分,針對被抽氣體選擇相應的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體,應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備,如冷凝器、除塵器等。 7、真空泵排出來的油蒸氣對環境的影響如何。如果環境不允許有污染,可以選無油真空泵,或者把油蒸氣排到室外。 8、真空泵工作時產生的振動對工藝過程及環境有無影響。若工藝過程不允許,應選擇無振動的泵或者采取防振動措施。 9、真空泵的價格、運轉及維修費用。 水環式真空泵的選擇 一、泵類型的確定   泵的類型主要由工作所需的氣量、真空度或排氣壓力而定。   泵工作時,需要注意以下兩個方面: 盡可能要求在高效區內,也就是在臨界真空度或臨界排氣壓力的區域內運行。應避免在最大真空度或最大排氣壓力附近運行。在此區域內運行,不僅效率極低,而且工作很不穩定,易產生振動和噪音。對于真空度較高的真空泵而言,在此區域之內運行,往往還會發生汽蝕現象,產生這種現象的明顯標志是泵內有噪音和振動。汽蝕會導致泵體、葉輪等零件的損壞,以致泵無法工作。 根據以上原則,當泵所需的真空度或氣體壓力不高時,可優先在單級泵中選取。如果真空度或排氣壓力較高,單級泵往往不能滿足,或者,要求泵在較高真空度情況下仍有較大氣量,即要求性能曲線在較高真空度時較平坦,可選用兩級泵。如果真空度要求在-710mmHg以上,可選用水環-大氣泵或水環-羅茨真空機組作為抽真空裝置。F 二、根據 系統 所需的氣量選擇真空泵)   初步選定了泵的類型之后,對于真空泵,還要根據系統所需的氣量來選用泵的型號。關于真空泵的抽速選擇及抽氣時間計算可參照有關公司網頁真空計算公式。   面對各種型式的水環式真空泵及 壓縮機 ,我們特將其各自特點收集如下,以利于用戶 選型 : 真空泵一覽表 名稱型號 抽氣速率 L/s 極限真空Pa 配用功率kW 旋片真空泵2X(Z)型旋片式真空泵 0.5~70 6 10-2 0.55~5.5 XD、X單級旋片真空泵 2.8~150 2 10-2 0.37~15 X型單級旋片真空泵 30~150 6 4~11 往復真空泵W型往復真空泵 32~300 2000 4~30 55~600 2000 5.5~45 羅茨真空泵ZJ型羅茨真空泵 30~5000 5 10-2 0.75~55 70~3000 5 10-2 1.1~30 滑閥真空泵H型滑閥真空泵 8~600 1 1.1~55 70~600 1 7.5~55 2H型滑閥真空泵 8~150 0.1 4~15     液環真空泵2BE1、CBF水環式真空泵 2~450 m3/min 3.3 103 7.5~710 2BE1型雙級水環式真空泵 5~320 m3/min 3.3 103 11~380 2BV 型水環式真空泵 0.3~8.3 m3/min 3.3 103 0.81~15 2SK型雙級水環式真空泵 0.4~30 m3/min 3.5 103 2.2~55 S、SK型水環式真空泵 0.67~25 m3/min (3.5~4) 103 1.5~55 SK型水環式真空泵 0.4~120 m3/min (8~15) 103 1.1~185 SZ、SK型水環式真空泵 1.5~27 m3/min (5~14) 103 5.5~75 SK、2YK型水環式真空泵 5~280 m3/min (5~14)104 22~380 FSK型水環式真空泵 3~9 m3/min (5~14) 103 7.5~22 YL型液環式真空泵 5~25 m3/min 9 104 30~132 真 空 泵機組JZJ型羅茨、旋片真空泵機組 30~1200 (1~5) 10-2 1.3~26 JZJ1型羅茨、旋片真空泵機組 70~1200 (5~10) 10-2 4.3~22.5 JZJS型羅茨、水環真空泵機組 70~600 25~650 7~39.5 JZJ1S型羅茨、水環真空泵機組 150~600 25~650 9.7~24.7 JZJH型羅茨、滑閥真空泵機組 300~1200 10-1 11.5~26 2BW4型水環真空泵成套機組 10~95 m3/min 103 45~185
          • 根據系統所需的氣量選擇真空泵   初步選定了泵的類型之后,對于真空泵,還要根據系統所需的氣量來選用泵的型號。   面對各種型式的水環式真空泵及壓縮機,我們特將其各自特點收集如下,以利于用戶選型 代號 主要特點 極限真空度 mmHg 工作真空度 mmHg 抽速范圍 m3/min 密封形式 SK 國內設計單級水環真空泵,結構簡單、維修方便。目前國內主流的低真空水環式真空泵。 -700 -300~-650 0.15~120 盤根、 機械密封 2SK 國內設計雙級水環真空泵,相當于兩臺 SK 水環泵串聯使用,比較單級水環泵具有真空度高及高真空下抽速較大的特點。目前國內主流水環式真空泵。 -735 -300~-700 1.5~30 盤根、 機械密封 2BV 采用西門子先進技術,機泵同軸,結構緊湊,效率高,真空度高,性能穩定,將逐漸替代 SK 、 2SK 系列 0.4~6m3/min 抽速的水環真空泵。 -735 -300~-700 0.45~8.33 機械密封 2BE1 采用西門子先進技術,效率高,真空度高,性能穩定,將逐漸替代 SK 、 2SK 系列 6~120m3/min 抽速的水環真空泵。 -735 -640 -300~-700 -300~-600 5~400 盤根、 機械密封 SZ 50 年代蘇聯技術,效率低,能耗大, 80 年代初已被淘汰,主要應用于老用戶。 -640~-700 -300~-650 1.5~27 盤根 SZB 50 年代蘇聯技術,效率低,能耗大, 80 年代初已被淘汰,主要應用于水泵引水,目前已被 SK 系列水環泵替代。 -600 -300~-550 0.33~0.66 盤根 2SY 主要應用于水環壓縮機,最大排氣壓強為 0.6MPa - - 6~30 機械密封 2YK 結構基本與 2SK 系列相同,可以用被抽介質作為工作液,極限真空度隨被抽介質的飽合蒸氣壓而改變。表中極限真空度為工作介質為變壓器油時的極限真空度。 -755 -300~-720 1.5~30 機械密封
          • 真空泵市場及應用領域的變化和發展 真空泵是一個量大面廣的產品,產量很大,產值不高,但它確實是一個直接影響到真空成套設備性能質量的必不可少的基礎產品。真空泵從高/超真空到粗/低真空,其產品大致可分14大類: 高/超真空——低溫泵、分子泵、濺射離子泵、鈦升華泵、擴散泵。 中真空——干泵、雙級旋片泵、羅茨泵、油增壓泵、水蒸氣噴射泵。 粗/低真空——單級旋片泵、滑閥泵、液環泵、往復式真空泵。 真空泵的市場根據用戶的需要而發生動態變化。市場增長的主要驅動力來自于半導體工業的迅速發展以及干泵和分子泵應用領域的日益擴大。 目前,全球真空泵市場的年銷售額約20億美元,年增長率在7%左右。 我國生產真空泵的廠家很多,全部真空泵的年銷售額大約在1、5億元左右,僅相當于美國Kinney公司一家真空泵的年銷售額。通過對全球真空泵市場的分析我們可以看出,各類真空泵的市場及應用領域都在不斷變化和發展。我國真空泵制造業有著悠久的歷史和雄厚的基礎,國產真泵已經在各個不同領域得到應用并經過驗證,有些泵還出口國外,得到國外用戶的認可并受到好評,應該說我國真空泵制造業在國內外市場仍然有著巨大的發展空間。 1、液環泵 雖然液環泵屬于粗真空泵,但在我國的石油、化工、電力、輕紡、造紙、醫藥等領域仍然有著很大的市場。在國外,液環泵的銷售額占全部真空泵市場的14%,僅次于干泵,所以Nash、Seimems和Kinney等公司都在我國投資建廠或建立銷售網絡,不斷擴大在我國的市場份額。由于液環泵大部分是鑄件,加工要求也不高,屬勞動密集型產品,所以國產液環泵在價格上有競爭優勢,關鍵是要改進設計,縮小體積,減輕重量,提高效率,降低能耗。 2、滑閥泵 由于滑閥泵比較耐用、可靠,國內外各種真空爐、鍍膜機以及干燥、浸漬等設備都是用滑閥泵作為前級泵,但是滑閥泵鑄件重,加工工作量較大,所以國外各真空廠都在中國尋找合作伙伴。為了使國產滑閥泵能夠進入國際市場,必須進一步降低泵的振動噪聲,杜絕噴油和漏油,提高滑閥泵長期運行的可靠性。 3、直聯旋片泵 隨著真空技術在各個應用領域的不斷擴大,直聯旋片泵的需求量越來越大。由于這種泵數量很多,加工裝配工作量很大,價格又很低,所以有的國外真空廠商在中國建立專業廠。國產中小型直聯旋片泵在技術上已經過關,價格又遠比國外的泵便宜,所以國產泵仍然有競爭優勢,關鍵是要解決軸封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能質量問題,確保直聯泵在高速、高溫下性能穩定和運行可靠,同時還要進一步提高國產直聯旋片泵抽除水蒸氣的能力。 4、羅茨泵 從國外羅茨泵生產情況來看,國外幾家大公司,如Leybold、Balzers、Alcatell、Edwards和ULVAC,他們各家羅茨泵的銷售額占全球羅茨泵銷售額的比例都沒超過5%,這5家總計才20%,羅茨泵產量不大,但國外羅茨泵的價格遠比國產泵要高得多。目前,國內外幾乎所有大型或小型的高真空和中真空系統,為了縮短抽氣時間、提高生產效率都配有羅茨泵,所以國產羅茨泵一定要在占領國內市場基礎上設法進入國際市場,這樣就必須進一步降低國產羅茨泵的振動噪聲,徹底解決軸封漏油問題,改進泵的外觀質量,提高泵內的光潔度和清潔度。另外,還要考慮到有些國家和地區的電源頻率為60Hz,更要確保羅茨泵在提高轉速的情況下長期運行的可靠性。 目前,國內氣冷式直排大氣羅茨泵進展很快,技術上已經成熟。由于這種泵在排氣口的下面裝有氣體冷卻器,其中一部分被冷卻的氣體通過管道返回泵腔以冷卻轉子,從而使壓縮熱得平衡,所以這種泵可以直排大氣。為了滿足不同極限真空度的要求,這種泵可以串聯使用,一般前面加一臺氣冷式直排大氣羅茨泵,所達到的極限真空要比前級泵高一個數量級。這種泵由于在泵腔內沒有工作介質,實際上也是屬于干泵。目前,這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機組已經在石油、化工、塑料、農藥、汽輪機轉子動平衡。 5、分子泵 分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都彩 復合分子泵和牽引泵作為主泵。 由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸汽被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應用,既提高了生產效率又改善了膜層質量。隨著我國半導體工業、薄膜產業和科學研究事業迅速發展,分子泵應該是我國真空泵制造業發展的重點。首先,分子泵要從小到大建立完整系列,并研究開發各種復合分子泵、牽引泵和低溫分子泵,以滿足不同場合的需要。 6、干泵 國外干泵市場的不斷增長,其主要驅動來自于半導體行業、化學工業、薄膜產業的迅速發展。在日本,半導體行業已全部用干式真空泵代替油封式機械泵,歐美半導體行業45%以上用干式真空泵代替了油封式機械泵,大大提高了產品的性能和質量。為了滿足不同應用領域和不同工況的要求,國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa~10-2Pa,抽速從20m3/h~500m3/h。據統計,目前國產干泵的應用還不足1%,國內半導體工業用的干泵全部從國外進口,其價格十分昂貴。所以,我國應大力研究開發干泵,使干泵成為我國真空工業新的經濟增長點。
          • 水環式真空泵工作原理 水環式真空泵 (簡稱水環泵)是一種粗真空泵,它所能獲得的極限真空為2000~4000Pa,串聯大氣噴射器可達270~670Pa。 水環式真空泵 也可用作壓縮機,稱為水環式壓縮機,是屬于低壓的壓縮機,其壓力范圍為1~2×105Pa表壓力。    水環式真空泵 最初用作自吸水泵,而后逐漸用于石油、化工、機械、礦山、輕工、醫藥及食品等許多工業部門。在工業生產的許多工藝過程中,如真空過濾、真空引水、真空送料、真空蒸發、真空濃縮、真空回潮和真空脫氣等, 水環式真空泵 得到廣泛的應用。由于真空應用技術的飛躍發展, 水環式真空泵 在粗真空獲得方面一直被人們所重視。由于 水環式真空泵 中氣體壓縮是等溫的,故可抽除易燃、易爆的氣體,此外還可抽除含塵、含水的氣體,因此,水環泵應用日益增多。   如圖:在泵體中裝有適量的水作為工作液。當葉輪按圖中指示的方向順時針旋轉時,水被葉輪拋向四周,由于離心力的作用,水形成了一個決定于泵腔形狀的近似于等厚度的封閉圓環。水環的上部分內表面恰好與葉輪輪轂相切,水環的下部內表面剛好與葉片頂端接觸(實際上葉片在水環內有一定的插入深度)。此時葉輪輪轂與水環之間形成一個月牙形空間,而這一空間又被葉輪分成葉片數目相等的若干個小腔。如果以葉輪的上部0°為起點,那么葉輪在旋轉前180°時小腔的容積由小變大,且與端面上的吸氣口相通,此時氣體被吸入,當吸氣終了時小腔則與吸氣口隔絕;當葉輪繼續旋轉時,小腔由大變小,使氣體被壓縮;當小腔與排氣口相通時,氣體便被排出泵外。   綜上所述, 水環式真空泵 是靠泵腔容積的變化來實現吸氣、壓縮和排氣的,因此它屬于變容式真空泵。 水環泵和其它類型的機械真空泵相比有如下優點: 結構簡單,制造精度要求不高,容易加工。 結構緊湊,泵的轉數較高,一般可與電動機直聯,無須減速裝置。故用小的結構尺寸,可以獲得大的排氣量,占地面積也小。 壓縮氣體基本上是等溫的,即壓縮氣體過程溫度變化很小。 由于泵腔內沒有金屬磨擦表面,無須對泵內進行潤滑,而且磨損很小。轉動件和固定件之間的密封可直接由水封來完成。 吸氣均勻,工作平穩可靠,操作簡單,維修方便。 水環式真空泵 也有其缺點: 效率低,一般在30%左右,較好的可達50%。 真空度低,這不僅是因為受到結構上的限制,更重要的是受工作液飽和蒸氣壓的限制。用水作工作液,極限壓強只能達到2000~4000Pa。用油作工作液,可達130Pa。   總之,由于 水環式真空泵 中氣體壓縮是等溫的,故可以抽除易燃、易爆的氣體。由于沒有排氣閥及摩擦表面,故可以抽除帶塵埃的氣體、可凝性氣體和氣水混合物。有了這些突出的特點,盡管它效率低,仍然得到了廣泛的應用。
          • 微型真空泵與氣體采樣泵的區別 通常我們把能產生負壓的小體積泵都稱作微型真空泵,但在產品選型時卻要嚴格區分。 真正意義上的微型真空泵(如VM系列、VAA系列、PK系列、PC系列、VCA系列、VCC系列、VCH系、PH系列、FM系列、FAA系列、PCF系列等)是可以長時間對密閉容器抽真空的泵,它可以帶動較大的負載。而氣體取樣泵(如PM系列)工作時泵腔內外的壓差較小,所以它帶的負載是很小的。就是因為對帶載能力的要求不同,造成微型真空泵與氣體采樣泵所選用的零配件有很大差別。 微型真空泵對隔膜和電機都有很高的要求。對這兩個主要零件而言,疲勞強度、可靠性、壽命等技術指標都是要求在帶負載的條件達標,而不同于氣體采樣泵只要求在極輕載荷下達標(試驗證明,負載稍大氣體采樣泵就容易損壞)。因此,兩種微型泵的成本差別較大。 綜上所述,如果把微型真空泵用于氣體采樣,勢必得到很高的可靠性,但價格偏高;如果把氣體采樣泵用在負載稍大的場合,可靠性、壽命就大打折扣,甚至無法正常工作,雖然它在價格上有優勢。選型時最好向技術部門咨詢清楚,以便兼顧成本和性能。有些氣體采樣泵也能達到較好的真空度和流量指標,但是,達到這個技術指標和能在這個指標下長時間可靠工作是兩回事。比如,某微型泵能達到30KPa的真空度,那么當泵的抽氣口經常處在這個真空度下時,泵是否能可靠工作?因此,泵達到的指標和它能可靠工作的指標是不一樣的,請購買時一定向經銷商確認。
          • 微型真空泵、微型氣泵詳細選型說明 隨著我國的儀器儀表工業的蓬勃發展,體積小巧、無油環保的微型真空泵、微型氣泵得到越來越廣泛的使用。如何才能在規格繁多的微型泵中選擇最適合您的產品呢? 根據微型泵的用途,可以分為三類來討論: 一、如果只是用微型氣泵輸出壓縮空氣。 簡單地說,就是只用它來打氣、充氣,泵的抽氣口基本不用。這種情況比較簡單,按輸出壓力從大到小依次可選: PCF5015N 、 FAA8006 、 FAA6003 、 FAA4002 、 FM2002 、 FM1001, 當然還要參考流量指標等相關技術參數。 二、如果是以下幾種情況,則應該選用 PHW600B 或 WAA 系列產品。 1 、用微型泵抽氣或抽真空,但有時會有液態水進入泵腔。 2 、要求微型泵既能抽氣又能抽水。 3 、主要用微型泵抽水,但不希望在抽水前靠人工加 “ 引水 ” (有些水泵在工作前需要人工加入一些 “ 引水 ” ,這樣泵才能把低處的水抽上來,否則泵無法抽水甚至損壞。),即希望泵有 “ 自吸 ” 功能。 PHW600B 或 WAA 系列產品的長處就在于,沒有接觸到水時,它就抽真空,形成真空后靠氣壓把水壓上來,而后開始抽水。 4 、用微型泵抽水,但有些時候可能泵沒有水可抽,處于 “ 干轉 ” 狀態。某些傳統水泵畏懼 “ 干轉 ” , “ 干轉 ” 甚至會損壞泵。而 PHW600B 或 WAA 系列產品本質上是一種復合功能泵,它集成了真空泵和水泵的功能,有人把它叫作 “ 真空水泵 ” 。因此,在沒有水的情況下,它會抽真空,有水的時候它就抽水。無論是抽氣狀態還是抽水狀態,都屬于正常工作范疇,也就無所謂 “ 干轉 ” 損傷。 三、如果是用微型泵抽氣,情況稍微復雜些,大致可從以下兩個方面來決定選型: ( 一 ) 、判斷微型泵抽氣端工況 用于抽氣的微型泵分為兩類:氣體采樣泵和微型真空泵。雖然通??偸遣患訁^分地把它們簡單統稱為微型真空泵,但從技術角度二者是有區別的,選型時更要特別注意。 簡而言之,氣體采樣泵只能帶小負載(即:泵抽氣端阻力不能太大),但價格便宜;嚴格意義上的微型真空泵可以帶大負載(抽氣端允許大阻力,甚至完全堵塞),但價格稍貴。二者具體區別可以詳見我公司網站上 “ 試驗數據 ” 中的文章《 關于微型真空泵與氣體采樣泵的區別 》,不再復述。 氣體采樣泵有: PM 系列(具體型號如: PM950.2 、 PM850.5 、 PM8001 、 PM7002 、 PM6503 );微型真空泵有: VM 系列、 VAA 系列、 PK 系列、 PC 系列、 VCA 系列、 VCC 系列、 VCH 系列、 PH 系列、 FM 系列、 FAA 系列、 PCF 系列,這些系列下的所有規格都是真正的微型真空泵,如 VM7002 、 VAA6005 、 PC3025 等。 對于微型泵抽氣端阻力的大小可以用儀器測定,把它與泵的技術參數 “ 進氣口允許最大阻力 ” Por 值( “ 進氣口 Por” 的定義參見 VM 系列詳細參數 )比較就可以知道選型是否合適。通常根據經驗采用簡便的方法確定,比如下述幾種情況都屬于負載較大(即泵的抽氣端阻力較大),只能在微型真空泵范圍內選型: 在泵的抽氣端要接很長的管道,或管道彎曲點多、彎曲厲害甚至會阻塞封閉,或管道內孔很小 ( 比如小于 ∮ 2 毫米 ) ; 在管路上有節流閥、電磁閥、氣路開關、過濾器等元件; 泵抽氣口與密閉容器連接,或該容器雖未密閉但進氣量較??; 泵抽氣口與吸盤連接,用于吸附物體(如集成塊、精密工件等); 泵的抽氣端與過濾容器相連,容器口放置濾網,用于加速液體過濾。 ( 二 ) 、判斷微型泵排氣端工況 以上都是在討論微型泵抽氣端阻力的問題,根據這些判斷條件已經縮小了選型的范圍,但還必須考慮排氣端阻力問題,這樣才能最終確定可選范圍。 在實際應用中,微型真空泵面臨的排氣狀況是不一樣的: 一類是排氣很順暢,直通大氣; 另一類是排氣阻力較大,比如在排氣管路上有閥、細小彎管、大阻尼傳感器、非專用的消音器、在液面以下排氣、氣體排往密閉或半密閉容器等。在現代設計制造中,把面對不同排氣條件的微型真空泵區別對待。 “ 排氣口允許最大阻力 Por 值 ” ( “ 排氣口 Por” 的定義參見 VM 系列詳細參數 )這一參數就是標定泵的排氣能力,讓我們可以用嚴格的技術手段確定選型是否恰當。 簡單地說,對于排氣阻力大的系統,我們的選型范圍是: FM 系列、 FAA 系列、 PCF 系列;對于排氣阻力小的系統,選型范圍是: VM 系列、 VAA 系列、 PK 系列、 PC 系列、 VCA 系列、 VCC 系列、 VCH 系列、 PH 系列。 根據以上幾個步驟,我們已經可以確定微型泵的選型范圍了。在劃定的幾個可選系列中,再根據我們對流量和真空度的要求就可以確定具體的型號了。 注意參數選擇要留有余量,特別是流量參數。泵接入氣路系統后,由于管道、閥門等氣路元件要造成壓力損失,會衰減流量,因此得到的流量小于泵的標稱流量。 以下是其他與選型相關的問題,請根據使用情況考慮: 1 、帶負載啟動問題。 如果微型氣泵在啟動前它的抽氣口就已經存在真空或排氣口已經存在壓力,則要考慮泵的另一技術參數:進氣口最大啟動負載 Pis 值,排氣口最大啟動負載 Pos 值(這兩個值的定義參見 VM 系列詳細參數 )。典型應用事例就是使用微型氣泵維持容器內的真空或正壓狀態,當容器內的真空或正壓低于設定值時,需要泵通電啟動,高于設定值時停機。 可以在自身能達到的極限真空度下啟動的產品有: VM 系列、 VAA 系列、 PK 系列、 PC 系列、 VCA 系列、 VCC 系列、 VCH 系列、 PH 系列; 可以在自身能達到的最大輸出壓力下啟動的產品有: FM 系列、 FAA 系列、 PCF 系列。 該性能對制造商的技術水平要求較高。 2 、微型泵的介質溫度問題。 根據通過泵的介質氣體的溫度,選擇要普通型的還是要高溫型的。 3 、微型泵的可靠性問題。 根據微型泵出故障后產生后果的嚴重性而定,完全根據自己的要求。優質品的平均無故障連續運行時間都大于 1000 小時,有的高到數千小時。特別注意,這項參數是在滿負荷、不間斷的運行狀態下測定的,是最惡劣的工況,如果實際使用不是滿載或連續運行,該數值會高一些,高多少視泵的工況而定。該性能完全是考驗制造商的技術實力,從產品外觀上可以看出一些,如采用特制電機而非普通低價電機、體積相當的情況下重量較重等。根據產品價格也可略知一二。 4 、微型泵的電磁干擾問題。 如果有精密電路控制微型泵,視電路抗干擾能力而定,可能需要訂購低電磁干擾的微型泵。
          • 渦旋無油真空泵技術的現狀與發展趨勢 論文摘要:本文總結了渦旋無油真空泵技術的發展與現狀,其內容包括從渦旋技術的發展到渦旋技術在各行業的應用;從渦旋無油真空泵的原理到渦旋無油真空泵的制造技術及技術指標;從世界各國渦旋真空泵的發展到我國渦旋真空泵的發展現狀,對渦旋無油真空泵的狀況有一個系統的介紹。   1、引言   渦旋的概念相當久遠,20世紀初世界上就已經有了渦旋技術的專利。但由于當時技術水平的限制,渦旋機構制造不出來,渦旋的概念也就被淡忘了。1973年渦旋機構被重新提起并制造出第一臺模型機構,使這項技術實際應用成為可能。渦旋機構的可靠性高、運行平穩、噪音極低、節省能源等潛力和巨大優勢馬上引起了冰箱行業的重視和迫切需求,大受行業領先者青睞,迅速被投入工業化應用。Trance、Hitachi、Copland等著名公司的渦旋壓縮機技術與產品弓領了世界渦旋技術實用化的浪潮,帶動了如冰箱、空調等諸多行業的技術進步和產品的更新換代。   今天渦旋技術已經由初期的應用在壓縮機行業推廣到真空泵制造業,實現了全無油、運行更平穩、噪音更低、更加節省能源的渦旋清潔真空獲得技術的實用化。人們應用渦旋概念與原理制造出了對真空應用儀器設備和環境沒有污染,并且抽速、壽命、能耗等指標均優于普通油泵的單級、雙級渦旋無油真空泵系列產品。   上個世紀90年代初,世界上首臺渦旋真空泵推向市場,渦旋技術由此開始作為一種新型真空獲得技術在世界范圍內被推廣應用。到目前為止,世界上渦旋真空泵的生產廠家集中在美國、日本和歐洲,以日本的Anest1wata、美國的Varian、德國的Bush等為代表。產品包括了自0.25L/S-1OL/S系列產品,有些15L/S或更大抽氣量的產品也在試驗階段。   2、渦旋無油真空泵(0-Ifree scroll vacuu pump)的特點與應用領域   清潔的真空環境一直是科學家和企業界追求的理想真空環境。自能夠創造真空環境開始,人們就試圖采用不同手段達到清潔真空的效果。時至今日,清潔真空獲得設備已經發展到冷凝泵、柱賽泵、爪式泵、渦旋泵以及隔膜泵等多種產品。在現有的無油真空泵當中,渦旋無油真空泵與其他種類的無油真空泵相比具有運行平穩、噪音低、節省能源、重量輕、體積小的特點并已經被廣泛應用到下述科學研究與生產領域:①半導體行業——薄膜制備設備、半導體器件封裝設備;②真空冶金行業——真空爐、納米材料制備設備、真空檢測設備;③科學儀器行業——同步輻射光束線、電子顯微鏡、分析測試儀器;④醫療設備——牙科儀器、透析機;⑤生物制品行業——材料提純、藥品制備;⑥包裝行業——食品、藥品、生物制品等包裝設備。   3、渦旋無油真空泵工作原理、技術指標以及與普通油泵的對比   渦旋無油真空泵的渦旋盤就是一個一端與一個平面相接的一個或幾個漸開線螺旋形成一個渦旋型盤狀結構。一個靜渦旋盤與一個動渦旋盤組成的一對渦旋盤付構成了渦旋無油真空的基本抽氣機構。例如在雙級渦旋無油真空泵中,有兩個方向對應的固定渦旋盤,一個位于兩個渦旋盤之間的轉動渦旋盤。動、靜渦旋盤相對運動形成容積不斷變化的新月形真空腔使氣體從抽氣口吸入、排氣口排出、完成排氣循環。   眾所周知,渦旋無油真空泵(Oilfree scrolI vacuum pump)與普通油真空泵相比具有顯著的特點。下面以普通旋片真空泵為例,說明其差別:   表1渦旋無油真空泵與普通直聯式旋片真空泵技術指標的對比   技術指標旋片式油真空泵渦旋無油真空泵   抽速(l/s)2.0,4.0,82.0,4.4,8.7   極限真空度(Pa)0.6 1.0   使用壽命(h)40000 40000   大修間隔(h)8000 10000   冷卻介質油空氣   噪聲(dB) 7560   質量(kg) 7041   電機相數 31   電壓(V)220/380 220   功率(kw)1.1 0.6   轉數(r/min)1400 1437   4、渦旋無油真空泵的優點及其能給用戶解決的問題   4.1渦旋無油真空泵性能優越   渦旋真空泵的主要優點是間隙曉、泄漏少,具有較高的壓縮比,在較寬的陋力范圍內有穩定的抽速,工作壓力范圍寬;由于壓縮腔容積的變化市連續的,因而驅動扭矩變化小,功率變化小,振動噪聲低,可靠性高。這是其它類型的干式真空泵所不具備的。   4.2渦旋無油真空泵解決了污染與振動等基礎、共性問題   由于普通旋片油泵的漏油、噪聲、返油污染、高能耗以及振動等問題給用戶造成不良影響,如生物制品行業與半導體行業的油蒸汽污染與工藝系統返油閥題。真空鍍膜設備的鍍膜工藝中,在20~40Pa真空條件下鍍膜時,如果應用普通旋片機械真空泵作為前級真空泵將對鍍膜工藝設備造成污染,影響成膜量。半導體晶片制造工藝當中使用油泵與使用干泵相比,成品率存在509l左奮涸的差距,并且排出的油霧蒸汽對環境也有污染??茖W儀器行業尤其是在分析試儀器行業,采用油泵對測試結果將造成不良影響。大型同步輻射光束線上采涸用渦旋無油真空泵作為前級真空泵的作用也相當明顯。另外渦旋無油真空泵消酒除了普通油泵的漏油給用戶帶來的環境污染與煩惱。   4.3渦旋無油真空泵使系統制造與運行成本降低   為防止普通旋片油真空泵對真空系統的返油污染,需要在抽氣系統中加冷阱捕獲油分子;系統運行過程當中還需要定期清洗除油;有的需要定期更換真空泵油。采用渦旋無油真空泵第一不需要加冷阱之類捕油機構、第二不需要換真空泵油、第三振動更小、運行更平穩、第四能耗降低、第五重量更輕、第六突破了油泵使用范圍的限制,上述優點使渦旋無油真空泵成為普通旋片油真空泵的更新換代產品。   5、結束語   國內以半導體、電子工業為代表的制造工藝當中和科學研究與分析測試行業迫切需要無油污染的清潔真空環境,但是清潔真空獲得設備如冷凝泵、柱奏泵、爪式泵、渦旋泵以及隔膜泵等目前都沒有形成可靠先進的批量國產產品。進口渦旋無油真空泵作為一種在中國正式投放市場不超過3年的新產品,由于本文前述的價格、市場的開拓和用戶的認識程度等原因,沒有形成良性循環。這樣,一方面是迫切的市場需求,另一方面從價格與技術雙方面看沒有合適產品,造成了極大的市場缺口。   毫無疑問價格適中、性能可靠的渦旋無油真空泵將成為適合中國市場要求產品的主流,大力發展無旋無油真空泵勢在必行。研制符合中國市場要求的渦旋類及其它無油真空泵系列產品及其檢測技術手段也成為中國真空獲得行業進一步發展的一個契機。   為解決我國科學研究和新材料、半導體等行業發展面臨的技術手段存在的基礎、共性問題,近年來已經不斷有業內專家向國內介紹渦旋無油真空泵技術及其發展現狀,國外渦旋無油真空泵生產廠家與代理對中國市場的開發使其在中國市場的銷量在逐年增長。國內真空行業相關企業也開展了基礎、應用研究及小規模試制渦旋無油真空泵生產等不同階段的探索,只是由于技術基礎、激勵機制、研發手段、資金投入的限制,研發工作進展不是非???。   產品質量、穩定可靠性、以及技術推廣與市場開拓規劃、原則、手段等也是問題。因此渦旋無油真空泵系列產品下一步產業化技術研發與市場開發是企業必須解決的兩大問題。隨著研發手段、資金投入、市場開拓問題的解決,渦旋無油真空泵將會打開市場,從而提高整個真空獲得行業的技術水平。成功的渦旋無油真空泵系列產品研發與市場開發模式也將為我國其他清潔真空獲得設備如冷凝泵、樣寨磊、爪式覆以殛隔膜泵等提供有效的借鑒。
          • 無油渦旋真空泵技術的發展與應用 【關鍵詞】無油渦旋,真空泵,發展與應用 【論文摘要】渦旋的概念相當久遠,20世紀初世界上就已經有了渦旋技術的專利。但由于當時技術水平的限制,渦旋機構制造不出來,渦旋的概念也就被淡忘了。 一、引言 渦旋的概念相當久遠, 20 世紀初世界上就已經有了渦旋技術的專利。但由于當時技術水平的限制,渦旋機構制造不出來,渦旋的概念也就被淡忘了。 1973 年渦旋機構被重新提起并制造出第一臺模型機構,使這項技術實際應用成為可能。渦旋機構的可 * 性高、運行平穩、噪音極低、節省能源等潛力和巨大優勢馬上引起了冰箱行業的重視和迫切需求,大受行業領先者青睞,迅速被投入工業化應用。 Trance 、 Hitachi 、 Copland 等著名公司的渦旋壓縮機技術與產品引領了世界渦旋技術實用化的浪潮,帶動了如冰箱、空調等諸多行業的技術進步和產品的更新換代。 今天渦旋技術已經由初期的應用在壓縮機行業推廣到真空泵制造業,實現了全無油、運行更平穩、噪音更低、更加節省能源的渦旋清潔真空獲得技術的實用化。人們應用渦旋概念與原理制造出了對真空應用儀器設備和環境沒有污染 , 并且抽速、壽命、能耗等指標均優于普通油泵的單級、雙級無油渦旋真空泵系列產品。 上個世紀 90 年代初,世界上首臺渦旋真空泵推向市場,渦旋技術由此開始作為一種新型真空獲得技術在世界范圍內被推廣應用。到目前為止,世界上渦旋真空泵的生產廠家集中在美國、日本和歐洲,以日本的 Anestta 、美國的 Varian 、德國的 Busch 等為代表。產品包括了自 0.25L/S 到 10L/S 系列產品,有些 15L/S 或更大抽氣量的產品也在試驗階段。 二、無油渦旋真空泵的特點與應用領域 清潔的真空環境一直是科學家和企業界追求的理想真空環境 . 自能夠創造真空環境開始 , 人們就試圖采用不同手段達到清潔真空的效果 . 時至今日 , 清潔真空獲得設備已經發展到冷凝泵、住賽泵、爪式泵、渦旋泵以及隔膜泵等多種產品 . 在現有的無油真空泵當中 , 無油渦旋真空泵與其他種類的無油真空泵相比具有下述特點 : ① . 無油,無摩擦 —— 真空腔內無油,非接觸,無磨損,不產生微粒塵埃污染,可獲得清潔真空; ② . 抽氣量大 —— 雙渦旋盤,結構與單級相比相同直徑泵抽氣容積為 2 倍,節省能源; ③ . 抽氣效率高 —— 帶有 3-4 個抽氣單元,壓差??;大氣與真空之間由 O 型圈密封,泄漏低; ④ . 非接觸 , 良好平衡 , 力矩影響小,噪音低,振動??; ⑤ . 結構簡單緊湊,相同尺寸下,運動半徑小,運行平穩; ⑥ . 體積小,維修方便,維護費用低; ⑦ . 采用空氣冷卻,無需水冷。 目前無油渦旋真空泵的應用領域為 : ① . 半導體行業 —— 薄膜制備設備、半導體器件封裝設備; ② . 科學儀器行業 —— 同步輻射光束線、電子顯微鏡、分析測試儀器; ③ . 機械設備行業 —— 材料制備設備、真空檢測、材料提純設備; ④ . 化學工業; ⑤.醫療設備 —— 牙科儀器、透析機、生物制品與藥品制備; ⑥.包裝行業 —— 食品、藥品、生物制品等包裝設備。 三、無油渦旋真空泵工作原理、技術指標以及與普通油泵的對比 無油渦旋真空泵主要由 5 個部件組成: ①.動靜渦旋盤付與基座; ②.曲軸; ③.密封墊; ④.防自轉機構; ⑤.電機。 無油渦旋真空泵的渦旋盤就是一個一端與一個平面相接的一個或幾個漸開線螺旋形成的一個渦旋型盤狀結構體。一個靜渦旋盤與一個動渦旋盤相互交 * 組裝在一起,兩者之間由防自轉機構保證 180 。相位差,這樣結合組成的一對渦旋盤付構成了無油渦旋真空泵的基本抽氣機構。靜渦旋盤與動渦旋盤彼此之間在幾條直線 ( 即橫截面渦旋線上的幾個點 ) 上接觸形成對稱的幾對月牙腔,動渦旋盤在曲軸的驅動下繞靜渦旋盤的渦旋體中心運動,使靜渦旋盤與動渦旋盤的接觸點沿渦旋曲面移動實現吸氣、壓縮與排氣。例如在雙級無油渦旋真空泵中,有兩個方向對應的靜渦旋盤,一個位于兩個渦旋盤之間的動渦旋盤。動、靜渦旋盤相對運動形成容積不斷變化的新月形真空腔使氣體從抽氣口吸人、排氣口排出,完成吸氣、壓縮、排氣的循環。曲軸每轉一轉,就有一組新的月牙腔形成,所以無油渦旋真空泵的吸氣、壓縮、排氣循環以近 1500 轉 / 分的頻率被連續重復 , 對被抽氣體形成包容和強制輸送。 眾所周知,無油渦旋真空泵 (Oil free scrloo vacuum pump) 與普通油真空泵相比具有顯著的特點。下面以普通旋片真空泵為例,說明其差別: 表 1 無油渦旋真空泵與普通直聯式旋片真空泵技術指標的對比 技術指標 旋片式油真空泵 渦旋無油真空泵 抽速( 1/s ) 2.0 , 4.0 , 8.0 2.0 , 4.4 , 8.7 極限真空度( pa ) 0.6 1.0 使用壽命 (h) 40000 40000 大修間隔( h ) 8000 8000 冷卻介質 油 空氣 噪聲( dB ) 75 60 質量( kg ) 70 41 電機 相數 3/1 1 電壓 (V) 220/380 220 功率 (KW) 1.1 0.6 轉數 (r/min) 1400 1437 四、無油渦旋真空泵的優點及其能給用戶解決的問題 1 .無油渦旋真空泵性能優越 無油渦旋真空泵的主要優點主要包括: ① . 密封性良好 , 沒有向機械泵那樣直接連接吸、排氣腔的泄漏通道 , 容易密封 , 容易達到較高的真空度。 ② . 回轉半徑小,動靜渦旋盤相對滑動速度僅為旋片真空泵的 1/7 左右,動靜渦旋盤之間的動密封相對容易,有利于延長泵的使用壽命。 ③壓縮進程必較緩慢,有 2 個或者 3 個壓縮過程同時進行,壓縮腔相對曲軸對稱,這樣泵的運轉過程平穩、驅動力矩和氣體沖擊波動小,使泵的噪音和振動降低。 總而言之,無油渦旋真空泵結構簡單、具有較高的壓縮比,在較寬的壓力范圍內有穩定的抽速,工作壓力范圍寬;動靜渦旋盤之間間隙小、泄漏少,由于壓縮腔容積的變化是連續的,因而驅動扭矩變化小,功率變化小 , 振動噪聲低,可 * 性高。這是其它類型的干式真空泵所不具備的。         2 .無油渦旋真空泵解決了污染與振動等基礎、共性問題 由于普通旋片油泵的漏油、噪聲、返油污染、高能耗以及振動等問題給用戶造成不良影響,如生物制品行業與半導體行業的油蒸汽污染與工藝系統返油問題。真空鍍膜設備的鍍膜工藝中,在 20 ~ 40Pa 真空條件下鍍膜時,如果應用普通旋片機械真空泵作為前級真空泵將對鍍膜工藝設備造成污染,影響成膜質量。半導體晶片制造工藝當中使用油泵與使用于泵相比,成品率存在明顯的差距,并且排出的油霧蒸汽對環境也有污染 . 科學儀器行業尤其是在分析測試儀器行業,采用油泵對測試結果將造成不良影響。大型同步輻射光束線上采用無油渦旋真空泵作為前級真空泵的作用也相當明顯。另外無油渦旋真空泵消除了普通油泵的漏油給用戶帶來的環境污染與煩惱?,F有無油渦旋真空泵用戶的使用情況也證明了這種泵的優越性和可 * 性。 3. 無油渦旋真空泵使系統制造與運行成本降低 為防止普通旋片油真空泵對真空系統的返油污染 , 需要在抽氣系統中加冷阱捕獲油分子;系統運行過程當中還需要定期清洗除油;有的需要定期更換真空泵油 . 采用無油渦旋真空泵第一部需要加冷阱之類捕油機構、第二不需要更換真空泵油、第三振動更小、運行更平穩、第四能耗降低、第五重量更輕、第六突破了油泵使用范圍的限制。這些優點使無油渦旋真空泵成為普通旋片油真空泵的更新換代產品。 五、無油渦旋真空泵的結構 無油渦旋真空泵主要部件為渦旋盤付 \ 曲軸和密封墊 . 該泵的抽氣 —— 壓縮 —— 排氣機理是在動、靜渦旋盤相互不接觸的情況下,依 * 動、靜渦旋盤相對轉動形成吸氣腔和壓縮腔,將被抽氣體排出,連續完成吸氣、壓縮和排氣過程。在充分考慮抽氣過程中發生熱交換的情況下,盡量減少動、靜渦盤問的徑向和軸向間隙 , 可以提高抽速和極限真空度。 針對無油渦旋真空泵結構上存在著的運轉過程中水分和雜質易積聚和軸承易磨損的弱點 , 加氣鎮閥是必要的選擇。 結構上的改進主要有兩點: ①.加氣鎮閥使極限真空度保持要求值 —— 進氣壓力 O.03MPa(G) 以下,流量 lOL/min 以下。 ②.軸承端面加雙側密封圈密封,有效防止軸承磨損。 在無油渦旋真空泵的設計過程中,需要解決的問題包括: ①.渦旋泵的 CAD 設計一一型線方程的確定及修正,初始角修正,運動模擬; ②.渦旋盤的加工一一加工精度、加工工藝間隙的大?。撼樗?、極限真空度; ③.渦旋盤的表面處理一一耐腐蝕、潤滑、硬度、處理工藝、表面均勻性; ④.密封墊材料的選擇與加工 —— 密封墊要求有彈性、耐磨、不產生微粒。 六、無油渦旋真空泵的使用 1 .安全注意事項 使用前與使用過程中應當注意的安全事項包括: 無油渦旋真空泵的抽氣范圍 ( 用于抽潔凈氣體。不能抽有毒、易燃、易爆、腐蝕性氣體、化學品、溶劑及粉末等 ) 。 安裝要求 ( 安裝在沒有易燃、易爆物品、避雨、無蒸汽的安全場所 ) 。 安裝在水平面上 ( 傾角小于 5 。 ) 。周圍無灰塵、無鐵屑、石塊或木塊。 一定要安全接地。一定要安裝緊急制動開關。接線要由合格的電工完成 ) 。 在合適的工作環境溫度 (5 ~ 40 ℃ ) 內工作。 正確安裝使用 ( 接線或檢查時必須切斷電源,不能將手指或其他物品放人泵的氣孔或冷卻翅片的間隙中 ) 。 正確維修檢驗 ( 根據本說明書要求定期檢查,泵徹底冷卻后再進行維護與檢驗工作;由專業人士維修,不能改造此泵 ) 。 2 .安裝方法 安裝前要認真檢查下述各項: ①.檢查確認包裝放置方向正確。 ②.檢查確認產品為訂購的型號。 ③.檢查確認無破損。 ④.泵運轉時拆掉進氣口與排氣口法蘭。如果連續帶法蘭工作,會對泵引起損害。 安裝時應注意: ①.安裝在避雨、無蒸汽的場所,避免電擊危險; ②.安裝在通風良好、隔絕爆炸物、無腐蝕性和易燃氣體及其他有關物體處。 ③.安裝在堅實、平整面上 ( 傾角小于 5 。 ) ,陽光不能直射處。 ④.在規定環境溫度范圍 (5—40 ℃ ) 內工作。 要在真空室和進氣口連線上安裝截止閥和排氣閥。這些閥用于開關無油渦旋真空泵時阻止泵中積存的碎屑被抽回真空室中。開關泵時要先關閉截止閥。連接管路一定要潔凈。建議使用軟管連接,這樣泵的振動不會傳到真空室。連接排氣管時要注意管的長度和尺寸。建議排氣管長不超過 15 米,內徑 25mm 。注意泵工作時排氣管不能堵塞。注意排氣壓力不能超過大氣壓。 連線時必須首先斷開電源,由合格的電工連線。泵必須提供外部保護,如 8L/s 泵最小電路容量為單相、 18A ,最大分路電流斷路器容量為 15A 。一定要安裝推薦容量的電流斷路器以避免電機燒毀,電線和地線截面積一定要超過 2mm2 。否則會引起損害或火災。與電機接線端子連接的電線要配適當的圓圈形接頭。一定要接地。否則可能引起電擊或人身傷害。交貨時連線電壓為單相, 220 伏。 3 .無油渦旋真空泵的操作 —— 抽干燥氣體 無油渦旋真空泵在初次啟動或者長期不用時達到極限真空需要較長時間。應在關閉進氣閥狀態下連續抽氣 6—8 小時,每小時打開進氣閥 2 ~ 3 次,每次 3 ~ 5 秒。如果泵抽水或者高濕度氣體 ( 相對濕度 ; 60 % ) ,水汽可能殘留在泵中降低泵的性能。這時關閉泵與系統之間的截止閥,啟動泵,運轉時打開進氣閥進大氣幾次,每次 3—5 秒,可以將泵中的水汽排出。泵工作時要拆去進氣口法蘭和排氣口法蘭,否則會對泵有損害。泵啟動和關閉時要關閉截止閥,否則開關泵時泵中積存的碎屑會被抽回真空室中。重新啟動泵時,啟動前要開啟進氣閥進大氣 3—5 秒,否則會造成泵中溫度不平衡,導致泵失效。 無油渦旋真空泵的啟動步驟包括: ①.關閉截止閥 ( 以免泵中積存的碎屑會被抽回真空室中 ( 帶漏氣閥開寸耍開啟漏氣閥 )) ; ②.打開泵開關; ③.開啟截止閥 ( 檢查確認真空泵已開啟,使用漏氣閥時要關閉漏氣閥,抽真空室 ) 。 停泵步驟包括: ①.關閉截止閥 ( 避免泵中積存的碎屑被抽回真空室 ) ; ②.關閉泵開關。 4 .無油渦旋真空泵的操作 —— 抽水汽 (1) 抽水汽注意事項 無油渦旋真空泵的維護標準是以抽潔凈氣體為基礎制定的,抽水汽標準不同。因此要注意下述各點: ①.抽水蒸汽泵的維護時間間隔必須縮短,因為水汽的溫度、抽除量、抽除頻率和水汽中物質成份對泵的工作都有影響。 ② . 抽水蒸汽時,要在規定溫度下工作,進氣溫度必須低于 50 ℃。當被抽氣體溫度高于 50 ℃時,應當在無油渦旋真空泵與真空室之間的連接管路上安裝冷卻器或冷阱,以降低進氣溫度,使之低于 50 。進氣溫度高于 50 ℃會對無油渦旋真空泵造成損害。 ③.抽水汽時要加氣鎮閥,無油渦旋真空泵抽水蒸汽會導致水汽在泵內凝結。凝結的水汽會引起泵極限真空度降低,或者對泵造成損害。氣鎮閥不僅能抽水汽,還能維持極限真空。 (2) 氣鎮閥的使用注意事項 所謂氣鎮閥及其作用概念非常簡單,就是在容積式真空泵的壓縮室上開一小孔,裝上一個調節閥。打開此調節閥啟動無油渦旋真空泵,當動渦旋盤轉動某一位置時,空氣就通過小孔摻人壓縮室以降低壓縮比,從而使大部分水蒸氣不至于凝結,和摻入的氣體一起被排出泵外。這樣就達到了抽水蒸汽的目的。而這個調節閥就是氣鎮閥。氣鎮閥的使用注意事項包括: ①抽水汽時,必須開啟氣鎮閥抽氣。如果氣鎮閥關閉抽氣,水汽會在泵內積結,對泵造成損害。 ②.抽水汽后,必須在開啟氣鎮閥狀態下再抽氣超過 l 小時,如果抽水汽后立即關閉氣鎮閥,水汽會在泵內積結,對泵造成損害。 ③.當給氣鎮閥口充氮氣或干燥大氣時,要將壓力控制在大氣壓內,流量小于 lONL/min, 氣壓高會對泵造成損害。 ④.當被抽真空室內濕度高于 60 %時, — 定要開啟氣鎮閥。 ⑤.一定要在泵開啟前、關閉后,開啟和關閉氣鎮閥,千萬不能在泵工作過程中關閉氣鎮閥。泵工作時改變氣鎮閥工作狀態 ( 開啟或關閉 ) 會使泵損壞,造成人身傷害。 (3) 抽水汽時泵的操作 抽水汽時,泵的啟動步驟包括: ①.關閉截止閥 ( 以免開關泵時泵中積存的碎屑會被抽回真空室中 ( 帶漏氣閥時要開啟漏氣閥 )) ; ②.打開氣鎮閥 ( 拆下絲堵,換上氣體過濾器即可 ) ; ③打開泵開關; ④.開啟截止閥 ( 檢查確認真空泵已開啟,使用漏氣閥時要關閉漏氣閥,抽真空室 ) 。 抽水汽時,停泵步驟包括: ①.關閉截止閥 ( 避免泵中積存的碎屑被抽回真空室; ②.關閉泵開關; ③.關閉氣鎮閥 ( 結束氣鎮閥工作時,拆下氣體過濾器,用扳手輕輕擰上絲堵 ) 。 5 .無油渦旋真空泵的檢查與維護 (1) 檢查與維護注意事項 ①.無油渦旋真空泵為防止碎屑在泵中沉積,每天抽大氣幾次,每次 3 ~ 5 秒。 ②.要注意高溫,在泵足夠冷卻后,再進行檢查與維護。停泵后立即維修可能引起燒傷。 ③.檢查與維護之前一定要切斷電源。否則可能引起電擊或被旋轉物傷害。 ④.如果安裝與工作條件差、工作環境溫度超過規定,請縮短維護間隔。環境溫度是泵失效的主要影響因。標準維護間隔是以環境溫度 5 ~ 40 ℃,年平均溫度 25 ℃為基礎制定的。 (2) 檢查與維護內容要點 部件 檢查點與注意點 檢查時間間隔 軸承 異常噪聲(聽) 每天檢查 新更換軸承 8000 小時 密封件如密封墊、 O 型圈 新更新密封件 8000 小時 6 .故障診斷與排除 幾年來用戶在無油渦旋真空泵的使用過程中,陸續發現了各種問題,也總結了問題解決的方法。歸納起來,不外乎下述各種。如果出現故障,可以參照下表排除之。如果自己不能解決問題,可以聯系賣泵的經銷商和生產單位。同時筆者歡迎用戶提出使用中的問題,以利于無油渦旋真空泵的進一步改進。 七、結束語 國內以半導體、電子工業為代表的制造工藝當中和科學研究與分析測試行業迫切需要無油污染的清潔真空環境,但是清潔真空獲得設備如冷凝泵、柱賽泵、爪式泵、渦旋泵以及隔膜泵等目前都沒有形成可 * 先進的批量國產產品。進口無油渦旋真空泵作為一種新產品,由于本文前述的價格、市場的開拓和用戶的認識程度等原因,沒有形成良性循環。這樣,一方面是迫切的市場需求,另一方面從價格與技術雙方面看沒有合適的產品,造成了極大的市場缺口。 毫無疑問價格適中、性能可 * 的無油渦旋真空泵將成為適合中國市場要求產品的主流 , 大力發展渦旋無油真空泵勢在必行。研制符合中國市場要求的渦旋類及其它無油真空泵系列產品及其檢測技術手段也成為中國真空獲得行業進一步發展的一個契機。 無油渦旋真空泵故障診斷表 現象 原因 解決方法 泵停轉 開關異常 檢修 邊線松脫、短線 檢修 電壓下降 檢查電纜長度和尺寸 電機異常 檢修 泵異常 檢修 極限真空度上不去 法蘭口被刮傷 與當地經銷商聯系修理 管路被堵 加熱除氣或更換管路 管路漏氣 檢查管路連緊 抽入水或者溶劑 將進氣口通大氣抽幾分鐘,然后關閉進氣口抽約 24 小時 O 型圈破損 更換 氣鎮閥堵賽 清洗氣體過濾器或更換之 異常噪聲、振動 連接件松脫 緊定連接 泵未放平 調平基礎 異物進入泵中 檢修 排氣閥失效 檢修 電機失效 檢修 軸承損壞 與當地經銷商聯系換軸承 抽氣口被堵 與當地經銷商聯系修理 為解決我國科學研究和新材料、半導體等行業發展面臨的技術手段存在的基礎、共性問題,近年來已經不斷有業內專家向國內介紹渦旋無油真空泵技術及其發展現狀,國外渦旋無油真空泵生產廠家與代理對中國市場的開發使其在中國市場的銷量在逐年增長。國內真空行業相關企業也開展了基礎、應用研究及小規模試制無油渦旋真空泵生產等不同階段的探索,只是由于技術基礎、激勵機制、研發手段、資金投入的限制,研發工作進展不是非???。產品質量、穩定可 * 性、以及技術推廣與市場開拓規劃、原則、手段等也是問題。因此無油渦旋真空泵系列產品下一步產業化技術研發與市場開發是企業必須解決的兩大問題。隨著研發手段、資金投入、市場開拓問題的解決,無油渦旋真空泵將會打開市場,從而提高整個真空獲得行業的技術水平。成功的無油渦旋真空泵系列產品研發與市場開發模式也將為我國其他清潔真空獲得設備如冷凝泵、柱塞泵、爪式泵以及隔膜泵等提供有效的借鑒。 (源自:中國流體機械網)
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